△多晶硅、单晶硅生产废水处理工艺
1. 废水来源
多晶硅、单晶硅生产废水在电子半导体工业生产过程产生的废水中具有代表性。
2. 废水组成及特性
在生产过程中需要对含硅原料用氢氟酸、铬酸、硝酸、盐酸等强酸进行适当的腐蚀，因此产生大量酸性废水，通常采用石灰中和法处理。
3. 出水水质
本所工艺能达到的标准为污水排放标准GB8978-1996中的一级标准，
即： CODcr≤100mg/l，BOD5≤20mg/l，SS≤70mg/l，PH:6-9等。
4.工艺流程
对酸性生产废水废水处理的沉淀效率、水质调节、污泥处理等几个方面的考虑，以达到排放标准目的，典型工艺流程如下：
5、工程实例
洛阳单晶硅有限公司 2×30m3/h酸性废水处理工程
1. 废水来源
多晶硅、单晶硅生产废水在电子半导体工业生产过程产生的废水中具有代表性。
2. 废水组成及特性
在生产过程中需要对含硅原料用氢氟酸、铬酸、硝酸、盐酸等强酸进行适当的腐蚀，因此产生大量酸性废水，通常采用石灰中和法处理。
3. 出水水质
本所工艺能达到的标准为污水排放标准GB8978-1996中的一级标准，
即： CODcr≤100mg/l，BOD5≤20mg/l，SS≤70mg/l，PH:6-9等。
4.工艺流程
对酸性生产废水废水处理的沉淀效率、水质调节、污泥处理等几个方面的考虑，以达到排放标准目的，典型工艺流程如下：
  |
5、工程实例
洛阳单晶硅有限公司 2×30m3/h酸性废水处理工程